Standardisierte Systeme auf der Basis von trockenverdichtenden Schraubenpumpen Dryvac von Oerlikon Leybold Vakuum in Kombination mit Roots-Gebläse aus der Familie der Ruvac WH sind die optimale Lösung für Flachbildschirm-Anwendungen, insbesondere bei schneller Taktung der Ladeschleusen, Transferkammern und bei Abscheidungsprozessen.
Sie bieten kurze Abpumpzeiten bei hohem Saugvermögen. Durch die Standardisierung der Bestandteile werden hohe Benutzerfreundlichkeit und Verfügbarkeit erreicht. Weitere Vorteile für den Betreiber sind die standardisierten Schnittstellen aller elektrischen Verbindungen, Optionen zur Spülung und Kühlwassereinsatz, gepaart mit einem einfachen Wartungszugang und die Möglichkeit, einen bequemen und effizienten Backup-Pool für den Prozess zu etablieren.
Entscheiderfacts:
- kurze Abpumpzeiten
- hohes Saugvermögen
- benutzerfreundlich
